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蚀刻工艺之多台阶腐蚀加工

文章出处:人气:: 发表时间:2019-08-02 15:06:14
蚀刻工艺之多台阶腐蚀加工
多台阶腐蚀其实就是选择性腐蚀在实际生产中的另一种应用方式,是用选择腐蚀的方法在零件上腐蚀出各种不同深度的一种腐蚀加工方法,也称为分步切削腐蚀加工。通过这种方法腐蚀的各种不同深度可以用未腐蚀的凸台分隔开,也可以相互邻接最终形成梯形的剖面。其加工程序是:最先暴露腐蚀的部位,也就是最终腐蚀得最深的部位,对深度大的腐蚀应特别注意侧蚀量及多台阶累计公差的精确计算。
在多台阶腐蚀加工中要特别注意加工工差问题,由于在多次腐蚀加工过程中,工差会逐渐积累起来,因而,每一次腐蚀加工都必须取公差的中值。并且在实际腐蚀过程中,还需要对腐蚀尺寸进行精确测量,以随可以补救偏离公差的部位。
在多台阶腐蚀加工中还要注意一个问题,就是经腐蚀后的各层台阶边缘的几何形状是会随着腐蚀深度的增加而变化,如果想要达到预期的几何边缘,就需要选择与之相适应的腐蚀方法。
在多台阶腐蚀加工中,有两个关键尺寸的配合,即腐蚀深度和侧蚀量的配合。只有这两者都要达到完美的结合,才能加工出设计要求的产品。腐蚀深度和侧蚀量都要可以通过实验取得精确的数据,再根据这些数据,确定每个台阶的蚀刻时间及每个台阶的窗口尺寸。http://www.szqydq.com/
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