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蝕刻加工廠濕式蝕刻過程

文章出處:人氣:: 發表時間:2019-05-06 15:39:20
       蝕刻加工廠濕式蝕刻過程可分為三個步驟:1) 化學蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面;2) 蝕刻液與待蝕刻材料發生化學反應; 3) 反應后之產物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中,并隨溶液排出(3)。 蝕刻加工廠三個步驟中進行最慢者為速率控制步驟,也就是說該步驟的反應速率即為整個反應之速率。
  大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學反應步驟,各種形態的反應都有可能發生,但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化,再將此氧化層溶解,并隨溶液排出,如此反復進行以達到蝕刻的效果。 蝕刻加工廠如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學反應方式。 ttp://szqydq.com/
 
 
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