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蚀刻加工厂湿式蚀刻过程

文章出处:人气:: 发表时间:2019-05-06 15:39:20
       蚀刻加工厂湿式蚀刻过程可分为三个步骤:1) 化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面;2) 蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应; 3) 反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中,并随溶液排出(3)。 蚀刻加工厂三个步骤中进行最慢者为速率控制步骤,也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。
  大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤,各种形态的反应都有可能发生,但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化,再将此氧化层溶解,并随溶液排出,如此反复进行以达到蚀刻的效果。 蚀刻加工厂如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。 ttp://www.szqydq.com/
 
 
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